X射線熒光(X-ray fluorescence,XRF)是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時(shí)激發(fā)出的次級(jí)X射線,是一種快速的、非破壞式的物質(zhì)測(cè)量方法。X射線熒光技術(shù)可以檢測(cè)植物體內(nèi)大部分元素的分布信息,植物體內(nèi)某些礦質(zhì)營(yíng)養(yǎng)元素的組織分布可以反映元素的運(yùn)輸和利用特點(diǎn)。X射線熒光顯微鏡XROS MF30可作為研究植物體內(nèi)微量元素的分布和遷移特點(diǎn)的重要工具。 |
測(cè)量原理
試樣受X射線照射后,其中各元素原子的內(nèi)殼層 ,其中各元素原子的內(nèi)殼層(K,L或M層)電子被激發(fā)逐出原子而引起電子躍遷 電子被激發(fā)逐出原子而引起電子躍遷,并發(fā)射出該元素的特征X射線熒光。每一種元素都有其特定波長(zhǎng)的特征X射線。通過(guò)測(cè)定試樣中特征X射線的波長(zhǎng),便可確定存在何種元素,即為X射線熒光光譜定性分析。元素特征X射線的強(qiáng)度與該元素在試樣中的原子數(shù)量(即含量)成比例,因此,通過(guò)測(cè)量試樣中某元素特征X射線的強(qiáng)度,采用適當(dāng)?shù)姆椒ㄟM(jìn)行校準(zhǔn)與校正,便可求出該元素在 ,便可求出該元素在試樣中的百分含量,即為X射線熒光光譜定量分析。
1.微焦X射線管2.狹縫和主過(guò)濾器更換器3. 多毛細(xì)管光學(xué)透鏡4.樣品5. XY工作臺(tái)
6.照明器7.數(shù)碼顯微鏡8.半導(dǎo)體能量分散探測(cè)器9.點(diǎn)光電二極管/ CCD10.測(cè)量室11.鏡子
主要參數(shù)
參數(shù)類型 | 參數(shù)值 |
元素范圍 | 11Na (Kа) –92U (Lа) |
能量范圍 | 1 – 40 keV |
MnKα的能量分辨率 | <140 eV, at 50 000 cps |
物體尺寸 | 0,03*0,03mm – 150*150 mm, Z軸可達(dá)10cm |
XY工作臺(tái)的精度 | 10 um |
TubeHV | till 45 kV |
最大功率 | 500 W |
自動(dòng)過(guò)濾器更換器 | 鋯Zr,鈦Ti,鉬Mo,銀Ag,鋁Al,銅Cu,氯Cl |
重量 | 85kg |
尺寸 | 665х615х650mm |
技術(shù)規(guī)格
光束源 |
? X射線管:最大電壓50千伏,最大功率500瓦,陽(yáng)極材料Mo,另根據(jù)要求 ? 多毛細(xì)管透鏡:具有可變尺寸的光,用于X射線波束成形束,X射線束直徑30-1000μm ? 主光束濾波器:Zr,Ti,Mo,Ag,Al,Cu,Cl |
光學(xué)電子顯微鏡 |
? 最大變焦:200х |
樣本定位和映射 |
? 攝像機(jī)選擇分析區(qū)域 ? 光學(xué)顯微鏡結(jié)合X射線探頭的軸來(lái)控制分析區(qū)域 ? 樣品和探針移動(dòng)系統(tǒng) 2 用于選擇工作距離的自動(dòng)化系統(tǒng);分析單元沿Z軸移動(dòng),Z定位精度12μm 2 自動(dòng)化平臺(tái):用于XY軸對(duì)象定位和在用戶定義的樣本區(qū)域上掃描,XY定位精度10μm 2 掃描最大面積:150x150 mm 2 樣本最大尺寸:300х210х100 mm 2 樣本最大重量:1kg |
X射線熒光分析 -用于局部元素分析的能量色散半導(dǎo)體探測(cè)器 |
硅漂移探測(cè)器(SDD) ? 探測(cè)器在Mn Kα上的能量分辨率 :<150 eV ? 光譜范圍:1-40 keV ? 最大計(jì)數(shù)率:1 000 000 pps ? 濃度范圍:從1 ppm到100% |
軟件 |
? 控制系統(tǒng):控制微探針顯微鏡、高壓發(fā)生器模式、樣品和光束定位 ? 局部元素分析和元素映射:使用單一認(rèn)證樣品進(jìn)行校準(zhǔn);幾個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品校準(zhǔn)曲線;確定特征線的能量和強(qiáng)度;定性和半定量分析(基本參數(shù)法);光譜比較和搜索光譜庫(kù)中的類似物;用戶定義的樣本區(qū)域的元素映射;光譜和映射結(jié)果存儲(chǔ)到數(shù)據(jù)文件;比較,減法,存儲(chǔ)光譜的歸一化;疊加光譜映射光學(xué)和射線照相圖像上的圖像結(jié)果;在用戶定義的樣本點(diǎn)進(jìn)行自動(dòng)分析 ? 射線照相:數(shù)字化的亮度和對(duì)比度控制;縮放;測(cè)量圖像點(diǎn)之間的距離 ? 記錄和數(shù)據(jù)存儲(chǔ):將圖像存儲(chǔ)在數(shù)據(jù)庫(kù)中;保存測(cè)量結(jié)果并導(dǎo)出到其他Windows程序;數(shù)字化圖像記錄到外部媒體;圖像和協(xié)議打印 |
真空和冷卻系統(tǒng) |
? 真空室:分析單元的組成部分,帶有真空泵,用于輕元素分析 ? 內(nèi)置冷卻系統(tǒng):用于X射線管 |
附加零件和配件 |
? 控制工作站:英特爾?酷睿?i7,操作系統(tǒng)Windows 10,RAM 8Gb,HDD 1 Tb,24英寸顯示器 ? 校準(zhǔn)樣品 ? 備件和消耗品 |
外形尺寸 |
? 分析模塊尺寸(長(zhǎng)хWхH):665х615х650mm ? 重量(不含冷卻介質(zhì)):85kg |
應(yīng)用案例
不同類型種子的X射線熒光成像分析:種子內(nèi)鈣元素與鉀元素的分布進(jìn)行了原位分析
茶葉的元素分布分析:
應(yīng)用領(lǐng)域
廣泛應(yīng)用于地質(zhì)、冶金、礦山、電子機(jī)械、石油、化工、航空航天材料、農(nóng)業(yè)、生態(tài)環(huán)境、建筑材料、商檢等領(lǐng)域的材料化 、商檢等領(lǐng)域的材料化學(xué)成分分析。